華珺 QQ：3400717127   手機：13552869098 電話：010-64717020-123 傳真：010-84786709-666 郵件：sales22@handelsen.cn

Q-632 Q-Motion®轉(zhuǎn)臺

§ 寬僅32毫米、高僅8毫米

§ 采用增量編碼器實現(xiàn)直接位置測量，編 碼器分辨率為0.75微弧度（可選）

§ 最小位移高達3微弧度

§ 旋轉(zhuǎn)范圍>360度

§ 速度為45度/秒

§ 適用于高達10- 6百帕的真空環(huán)境，還可提供用于真空 達10-9百帕的版本

壓電慣性驅(qū)動器

壓電陶瓷慣性驅(qū)動器為空間節(jié)約型且價格實惠的基于壓電陶瓷的驅(qū)動器，其保持力相對較大，行程幾乎是無限的。慣 性驅(qū)動原理是基于由特殊驅(qū)動器電控提供的修正鋸齒波電壓控制的單個壓電促動器。促動器緩慢膨脹，移動轉(zhuǎn)子。由 于其慣性，轉(zhuǎn)子無法跟上促動器隨后的快速收縮，停留在其位置上。工作頻率高達20千赫茲時，驅(qū)動直接作用在轉(zhuǎn)子 上，實現(xiàn)最大為45度/秒的速度

應(yīng)用領(lǐng)域

微裝配、光子學(xué)、光學(xué)對準(zhǔn)、顯微鏡、高能束線設(shè)備、半導(dǎo)體技術(shù)、測試應(yīng)用

訂購信息

Q-632.930

Q-Motion®

轉(zhuǎn)臺，壓電慣性驅(qū)動，旋轉(zhuǎn)范圍>360度，增量編碼器，分辨率為0.75微弧度，力矩為6毫牛米，直徑為30毫米，真空 兼容至10-6 百帕

Q-632.900

Q-Motion®

轉(zhuǎn)臺，壓電慣性驅(qū)動，旋轉(zhuǎn)范圍>360度，不帶用于開環(huán)操作的位置傳感器，力矩為6毫牛米，直徑為30毫米，真空兼 容至10-6 百帕

Q-632.90U

Q-Motion®

轉(zhuǎn)臺，壓電慣性驅(qū)動，旋轉(zhuǎn)范圍>360度，不帶用于開環(huán)操作的位置傳感器，力矩為6毫牛米，直徑為30毫米，真空兼 容至10-9 百帕