高動(dòng)態(tài)納米定位儀/掃描儀，具有直接位置測(cè)量功能

2-和3-軸版本（XY和XYθ ?）

行程范圍為200 µm

亞納米分辨率

Physik Instrumente應(yīng)用領(lǐng)域

計(jì)量學(xué)

干涉儀

光子學(xué)/集成光學(xué)

平版印刷

納米定位

掃描顯微鏡

樣品比對(duì)

微加工

電容式傳感器的亞納米分辨率

電容式傳感器可在不接觸的情況下以亞納米分辨率進(jìn)行測(cè)量。它們保證了出色的運(yùn)動(dòng)線性，長(zhǎng)期穩(wěn)定性以及kHz范圍內(nèi)的帶寬。

 

自動(dòng)配置和快速的組件更換

機(jī)械和控制器可以根據(jù)需要進(jìn)行組合，并可以快速更換。所有伺服和線性化參數(shù)都存儲(chǔ)在機(jī)械師D-sub連接器的ID芯片中。每次打開(kāi)控制器時(shí)，數(shù)字控制器的自動(dòng)校準(zhǔn)功能都會(huì)使用此數(shù)據(jù)。

 

Physik InstrumentePICMA®壓電執(zhí)行器，使用壽命長(zhǎng)

專利的PICMA®壓電執(zhí)行器是全陶瓷絕緣的。這樣可以保護(hù)它們免受潮濕和由于泄漏電流增加而引起的故障的影響。PICMA®執(zhí)行器的使用壽命是傳統(tǒng)聚合物絕緣執(zhí)行器的十倍之多。已證明沒(méi)有任何故障的1000億次循環(huán)。

 

零游隙撓性導(dǎo)軌，導(dǎo)向精度高

撓性導(dǎo)板無(wú)維護(hù)，無(wú)摩擦和無(wú)磨損，并且不需要潤(rùn)滑。它們的剛度允許高負(fù)載能力，并且對(duì)沖擊和振動(dòng)不敏感。它們是100％真空兼容的，并且可在較寬的溫度范圍內(nèi)工作。

 

Physik Instrumente平行位置測(cè)量，在納米范圍內(nèi)具有很高的跟蹤精度

所有的自由度均以單個(gè)固定參考為基準(zhǔn)進(jìn)行測(cè)量。軸之間不需要的串?dāng)_可以實(shí)時(shí)（根據(jù)帶寬）得到主動(dòng)補(bǔ)償（主動(dòng)引導(dǎo)）。即使在動(dòng)態(tài)操作中，也可以在納米范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)高跟蹤精度。

二、Physik Instrumente產(chǎn)品用途

在許多應(yīng)用領(lǐng)域中必須達(dá)到最大定位精度。半導(dǎo)體制造，顯微鏡，表面測(cè)量技術(shù)，生物技術(shù)，醫(yī)學(xué)工程和自動(dòng)化技術(shù)通常需要具有納米級(jí)分辨率和可重復(fù)性的定位系統(tǒng)。除此之外，還要求響應(yīng)時(shí)間短，真空兼容的設(shè)計(jì)和在寬溫度范圍內(nèi)的功能。

三、Physik Instrumente產(chǎn)品分類

Physik Instrumente納米定位壓電彎曲平臺(tái)

Physik Instrumente微型舞臺(tái)

Physik Instrumente線性平臺(tái)

Physik Instrumente線性執(zhí)行器

Physik Instrumente旋轉(zhuǎn)臺(tái)

Physik Instrumentexy平臺(tái)

四、Physik Instrumente產(chǎn)品型號(hào)；

Physik Instrumente  L-505.021212F

Physik Instrumente  L-505.AP1

Physik Instrumente G-901.R3197

Physik Instrumente P-734.2CL

Physik Instrumente E-501,00  

Physik Instrumente E-503,00  

Physik Instrumente E-509,C3A,

Physik Instrumente P-561.3CD

Physik Instrumente L-611.90AD

Physik Instrumente P-563.3CD

Physik Instrumente E-727.3CD

Physik Instrumente P-561.3CD

Physik Instrumente E-727.3CDAP

Physik Instrumente C-887.522

Physik Instrumente Hexapod H-811.F2:

Physik Instrumente U-780.DLS

Physik Instrumente N-565.160

Physik Instrumente N-565.260