P-911K 超高真空兼容型小型壓電六足位移臺(tái)

即使在強(qiáng)磁場(chǎng)下也能精確定位

超緊湊型

無磁性

負(fù)載能力達(dá)1.5公斤

帶NEXLINE®壓電步進(jìn)驅(qū)動(dòng)器

超高真空兼容至10^-9百帕

超高精度柔性鉸鏈接頭

行程達(dá)1.5毫米/2度

空間節(jié)約型并聯(lián)運(yùn)動(dòng)設(shè)計(jì)可實(shí)現(xiàn)低于90毫米的總高度和僅100毫米的直徑。NEXLINE®壓電步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)器和集成式增量傳感器可在線性軸上確保低至0.1微米的位置分辨率

訂購(gòu)信息

P-911KNMV

非磁性，UHV兼容六腳架，帶NEXLINE®壓電步進(jìn)驅(qū)動(dòng)器，含調(diào)節(jié)器

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