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Physik Instrumente (PI) XYZ壓電彎曲掃描儀

Physik Instrumente (PI) 無間隙的回程導軌，實現(xiàn)高導向精度。
平行位置測量，在納米范圍內(nèi)具有較高的跟蹤精度。

PICMA®壓電執(zhí)行器是完全陶瓷絕緣的。PICMA®執(zhí)行器的使用壽命是傳統(tǒng)聚合物絕緣執(zhí)行器的十倍。沒有被證實一次失敗的1000億次循環(huán)。

所有的自由度都與一個固定的參照物有關。與其他軸的不必要運動串擾（主動引導）可以實時主動補償（取決于帶寬）。在動態(tài)工作中，還可以實現(xiàn)納米范圍內(nèi)的高跟蹤精度。

示范。

帶壓電偏轉(zhuǎn)的XYZ定位器和掃描儀

Physik Instrumente (PI) P-733.3 壓電式納米定位器XYZ

帶XYZ孔徑的高精度掃描儀

Physik Instrumente (PI) P-616NanoCube® 納米定位器

用于納米定位和光纖對準的緊湊型壓電平行運動系統(tǒng)。

Physik Instrumente (PI) P-611.3NanoCube®XYZ壓電系統(tǒng)

用于納米定位和光纖對準的緊湊型多軸壓電系統(tǒng)

Physik Instrumente (PI)  P-561-P-562-P-563 PIMars納米定位站

最多3軸的高精度納米定位器

 

Physik Instrumente (PI)  P-517-P-527壓電式多軸掃描儀

可直接測量位置的高動態(tài)納米定位儀/掃描儀

Physik Instrumente (PI)  XYZ掃描器與壓電偏轉(zhuǎn)顯微鏡

Physik Instrumente (PI)  P-545.xR8SPInano®XY(Z)壓電系統(tǒng)。

用于高分辨率顯微鏡的低成本納米定位系統(tǒng)。

Physik Instrumente (PI)  P-545.xC8SPInano®Cap XY(Z)壓電系統(tǒng)。

用于超高分辨率顯微鏡的電容式位置測量法

Physik Instrumente (PI)  P-545.3D8SP壓電式Inano®Trak跟蹤系統(tǒng)。

用于高動態(tài)顯微鏡的快速XY(Z)平臺。

小型精密XYZ納米掃描儀

Physik Instrumente (PI) P-363 PicoCube XY (Z)壓電掃描器

用于掃描探針顯微鏡的高動態(tài)納米定位系統(tǒng)。

 

Physik Instrumente (PI) 壓電掃描器P-313 PicoCube XY (Z)

比色計精度 掃描探針顯微鏡的高帶寬

德國Physik Instrumente (PI)  XYZ壓電彎曲掃描儀